無(wú)錫易純凈化設(shè)備有限公司
WUXI YICHUN PURIFICATION EQUIPMENT CO.,LTD易純凈化,只為潔凈空間
高效 / 環(huán)保 / 節(jié)能
易純產(chǎn)品和潔凈室系統(tǒng)解決方案廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、半導(dǎo)體制造業(yè)、航空航天、精密儀器儀表、醫(yī)療衛(wèi)生、生物制藥、潔凈手術(shù)室、生物實(shí)驗(yàn)室、食品保健、光纖光纜、科研教學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域,在生物制藥、電子工業(yè)、潔凈手術(shù)室行業(yè)確定了領(lǐng)先地位。電子廠房?jī)艋囬g
電子廠房?jī)艋囬g
光學(xué)微電子凈化工程亦名無(wú)塵室或清凈室,目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來(lái),由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目,而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。
光學(xué)微電子凈化工程一般包括:
1、 潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、 管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、 設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)
光學(xué)微電子凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌
等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程,即可達(dá)到凈化目的。
光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料
1. 凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻 角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2.地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3.送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4.高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
光學(xué)微電子凈化工程凈化參數(shù)
換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa
平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。
凈化等級(jí)說(shuō)明:
1級(jí) 這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè),對(duì)集成電路的精確要求為亞微米。
10級(jí) 這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。
100級(jí) 很多人認(rèn)為,這一級(jí)無(wú)塵車間是最常用因而是最重要的無(wú)塵車間,人們常常錯(cuò)誤地將100級(jí)潔凈室稱為無(wú)菌室,以說(shuō)明“無(wú)菌”的或“無(wú)塵”的環(huán)境要求,100級(jí)無(wú)塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌制造工藝等,這一潔凈室大量應(yīng)用于,植如體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療。
1000級(jí) 這個(gè)級(jí)別的無(wú)塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測(cè)試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等。
10000級(jí) 萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。
100000級(jí) 十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間用于很多的工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無(wú)塵車間。
潔凈室(區(qū))空氣潔凈級(jí)別表
潔凈度級(jí)別 | 塵粒最大允許數(shù)/立方米 ≥0.5μm塵粒數(shù) | ≥5μm塵粒數(shù) | 微生物最大允許數(shù) 浮游菌/立方米 | 沉降菌/皿 |
100級(jí) | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
10,000級(jí) | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
100,000級(jí) | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
300,000級(jí) | 10,500,000 | 60,000 | 1000 | 15 |
ISO14644-1(國(guó)際標(biāo)準(zhǔn))
空氣潔凈 度等級(jí)(N) | 大于或等于所標(biāo)粒徑的粒子最大濃度限值(個(gè)/每立方米空氣粒子) | |||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1.0um | 5.0um | |
ISO Class1 | 10 | 2 | ||||
ISO Class2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO Class3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO Class4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | |
ISO Class5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
ISO Class6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
ISO Class7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | |||
ISO Class8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | |||
ISO Class9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | |||
注:由于涉及測(cè)量過(guò)程的不確定性,故要求用不超過(guò)三個(gè)有效的濃度數(shù)字來(lái)確定等級(jí)水平 |
潔凈室及潔凈區(qū)空氣中懸浮粒子潔凈度等級(jí)
大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m) | ||||||
0.1um | 0.2um | 0.3um | 0.5um | 1um | 5um | |
1 | 10 | 2 | ||||
2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
4(十級(jí)) | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
5(百級(jí)) | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
6(千級(jí)) | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
7(萬(wàn)級(jí)) | 352000 | 83200 | 2930 | |||
8(十萬(wàn)級(jí)) | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
9(一百萬(wàn)級(jí)) | 35200000 | 8320000 | 293000 |
產(chǎn)品案例
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